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非接觸式高精度激光測振儀可以通過顯微光學系統實現對微小物體的振動測量，可以精確測量MEMS等微小結構元器件的振動和形貌，激光光斑達微米量級，并可通過顯微成像系統實時觀察物體的振動狀態（頻率、速度、加速度、位移）等多維信息。

高精度激光測振儀可以通過顯微光學系統實現對微小物體的振動測量，可以精確測量MEMS等微小結構元器件的振動和形貌，激光光斑達微米量級，并可通過顯微成像系統實時觀察物體的振動狀態（頻率、速度、加速度、位移）等多維信息。

掃描式激光測振儀LV-SC400通過在單點激光測振儀前面加兩個掃描鏡，運動控制系統控制掃描鏡的偏轉角度，來實現X、Y方向上的掃描測振；配備攝像系統，可實現人機互動，配備軟件分析系統，可實現二維、三維動畫顯示及數據分析等。